热式质量流量计MFM毛细管热质量流量计,直接测量较低流量范围内的清洁气体和混合气体的质量流量。

热式质量流量计MFM毛细管热质量流量计,直接测量较低流量范围内的清洁气体和混合气体的质量流量。

   产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

低压损可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

• 介质要求

  洁净干燥气体
• 气体种类

  98+气体可选
• 量程

  10，20，50，100，300，500 sccm
  0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
• 测量范围

  0.5%-100% F.S.
• 准确度

  ±0.5% F.S.
• 重复精度

  ±0.2%F.S.
• 线性度

  ±0.2%F.S.
• 分辨率

  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
• 传感器响应时间

  <1s
• 预热时间

  5 min（T95），30 分钟最佳

机械特性    最大工作压力  3 MPa（30bar）

工作压差范围  0-1 MPa

工作温度范围  -20~65℃（环境和气体）

湿度范围  0 ~ 98%无凝露

气路接头类型  快插、快拧、卡套、VCR（可选）

气体接触材质  氟橡胶、316不锈钢

密封材质  氟橡胶 FKM

防护等级  IP40

安装方式  水平安装方向校准

固定孔  M4 ↧ 5mm

重量  0.82kg

电气和通讯

电气连接接口类型  DB-9 公头

模拟信号  0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

输入输出阻抗  输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<1KΩ

模拟数据更新频率  200Hz

数字信号  RTU （RS232， RS485），CAN

通信速率  9600（默认），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）

电源  15-40 VDC，<200 mA

显示更新频率  50Hz

模拟信号精度  ±0.05%F.S.