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ESMFM-650 皂膜气体流量标准装置,采用高灵敏度红外光电管采样、精密电路控制、微电脑处理、触摸屏操控及显示、多通道测量,显示直观、操控方便、数据准确、测量范围大并可保存多达10W 条以上黑历史测量数据。该仪器广泛用于小气体流量的测量及泄漏率的检测。高配置款内置4 路高精度、高控制稳定性的气体质量流量控制器(MFC),为测量提供高精度、高稳定性的气体输出,使测量更加精度、便捷。
爱拓利公司现主推 MFC330 和 MFC300 两个系列热式气体流量控制器MFM,流量控制器MFC。 $n• MFC330系列 使用毛细管柱传感器,其传感器、比例阀等核心器件均为自主研发,具有稳定性高、抗腐$n蚀、高精度、高重复性等特点。$n• MFC300系列 使用MEMS传感器原理,该系列产品具有响应速度快、无需预热、精确度高等特点。
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