微小气体质量流量计可替代进口MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
热式气体质量流量控制器自主研发MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
国产高精度气体质量流量计MFCMFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
国产替代热式气体质量流量计我公司自主研发的 MFC330 气体质量流量控制器(以下简称 MFC330),主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。
自主研发微流量气体流量计MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
苏州氮气质量流量控制器MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
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