爱拓利公司现主推 MFC330 和 MFC300 两个系列热式气体流量控制器MFM，流量控制器MFC。
• MFC330系列 使用毛细管柱传感器，其传感器、比例阀等核心器件均为自主研发，具有稳定性高、抗腐
蚀、高精度、高重复性等特点。
• MFC300系列 使用MEMS传感器原理，该系列产品具有响应速度快、无需预热、精确度高等特点。

热式气体流量控制器MFC330 技术参数：

流量规格： 0~5, 10, 50, 100, 200, 300, 500

SCCM 0~1, 2, 5, 10, 20, 30, 50 SLPM

显示精度： 0.001 SCCM

准 确 度： ±0.5% F.S.

线 性 度： ±1% F.S.

重复精度： ±0.2% F.S.

响应时间： ≤ 1s

工作压差： 0-1 MPa

耐 压： 3 MPa (10MPa可选)

环境温度： -20 ~ 65 ℃

电气连接： DB9

输出信息： 4-20mA, 0-5Vdc，RS232, RS485,

CAN 电 源： 15 ~ 40 Vdc

气路管径： 3-3.2mm, 4mm, 6mm, 8mm, 1/8”, 1/4”, 1/2”

标准气路接头： 快插, 快拧, 卡套, VCR

热式气体流量控制器密封件材质： 氟橡胶 气路部件材质： SUS304, SUS316L

➢ 爱拓利精准流量测控 AITOLY INSTRUMENTS 致力于为工业与科学领域提供微小气体精准流量测量 与控制。

➢ 作为一家自主研发和生产的国产热式气体流量控制器的供应商，爱拓利不断提升产品性能和制造水平、提高 产品品质和服务，在产品全生命周期内为用户提供优质服务和售后保障。

➢ 爱拓利本着“爱拼务实，开拓创新，互利共赢”的理念，以技术创新为核心，以质量和服务为宗旨， 以实现互利共赢为目标，推动制造业核心零部件国产化进程。