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更新时间:2026-08-19
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在工业过程测量中,工艺流体污染可能导致传感管线堵塞,或流体在管线内结晶、结块,这些问题会严重影响差压测量的准确性。一种行之有效的解决方案是引入冲洗流体,顺着传感管线将其导回工艺流中,以消除停滞液体这一常见堵塞源,冲洗介质可选用惰性气体、液体或少量实际工艺液体。
但引入冲洗流量会带来新问题:流量导致传感管线产生压降,且工艺压力的变化会引起冲洗流量波动,造成不可靠的差压测量,进而影响主工艺流量测量的准确性。为提高测量精度,需确保两条传感管线中的流速相等——在管线长度相同的前提下,相等流速产生相同的压降,使差压测量两侧产生相等的偏移并相互抵消。
爱拓利MFC350质量流量控制器为此提供了可靠的解决方案。该产品基于毛细管热式传感技术,具备以下核心优势:
高精度流量控制:MFC350的测量精度可达±0.35%F.S.(低流量段)或±1.0%S.P.(高流量段),重复精度±0.2%F.S.,控制响应时间小于1秒,确保对冲洗流量的精准设定与快速调节。
抗压波动能力强:工作压差范围0-1MPa,耐压3MPa,压力系数仅0.2% of S.P./Bar,即使工艺压力发生波动,控制器仍能维持预设流量稳定,避免因流量变化导致测量误差。
宽量程与介质适应性:量程覆盖0-2 sccm至200 slpm,内置90余种气体流量系数,密封材质可选FKM或FFKM,适用于多种冲洗介质场景。
典型应用方案:将MFC350安装于冲洗气源与传感管线之间,设定两条传感管线流量相等,入口处通过压力调节器保持稳定供应压力。MFC350的闭环控制功能可在下游工艺压力变化时自动调节阀门开度,维持恒定冲洗流量,确保差压测量两侧压降一致,从而保障主工艺流量测量的准确性。该方案已广泛应用于半导体、化工、生物制药等行业的精密气体测控场景
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