氧气气体质量流量控制器‌气体质量流量控制器（MFC）是一种用于精确测量和控制气体质量流量的设备‌。
该设备的工作原理基于流体力学和传热原理，通过质量流量传感器测量气体流经管道时的压差和温度变化，进而计算出气体的质量流量，并通过控制阀门调节气体流量，使其保持在设定的范围内‌。

氧气气体质量流量控制器‌气体质量流量控制器（MFC）是一种用于精确测量和控制气体质量流量的设备‌。

该设备的工作原理基于流体力学和传热原理，通过质量流量传感器测量气体流经管道时的压差和温度变化，进而计算出气体的质量流量，并通过控制阀门调节气体流量，使其保持在设定的范围内‌。

技术参数

     主要参数

介质要求 洁净干燥气体

气体种类  98+气体可选

量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

测量范围  0.5%F.S.（1:200）

控制范围  1%-100% FS.（1:100）

准确度  ±1% F.S.

重复精度  ±0.2%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

控制响应时间 <3 秒

预热时间 5 min（T95），30 分钟最佳

阀门 常闭式

• 最大工作压力

  3 MPa（30bar）
• 工作压差范围

  0-1 MPa
• 工作温度范围

  -20~65℃（环境和气体）
• 湿度范围

  0 ~ 98%无凝露
• 气路接头类型

  卡套、VCR、快插、快拧（可选）
• 气体接触材质

  氟橡胶、304/316不锈钢
• 密封材质

  氟橡胶 FKM
• 防护等级

  IP40
• 安装方式

  水平安装方向校准
• 固定孔

  M4 ↧ 5mm
• 重量

  0.96kg