气体质量流量计

产品简介：

MFM330 气体质量流量计结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

产品型号：MFM330

更新时间：2025-01-10

厂商性质：生产厂家

访问量：372

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

流量计

气密性测漏仪皂膜气体流量标准装置流量显示仪气体质量流量计气体质量流量控制器流量控制器

气密性检漏装置技术解析：MFM气体质量流量计在工业检测中的关键应用

气体质量流量控制器在质谱仪中的应用及原理

产品介绍

MFM330气体质量流量计，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFM330气体质量流量计依然能够保持稳定的流量控制。

MFC330工作原理：

产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

工作压差范围大：0-1MPa

低压损可选

全金属比例阀可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

主要参数：

介质要求

洁净干燥气体

气体种类

98+气体可选

量程

10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

测量范围

0.5%-100% F.S.

准确度

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2%F.S.

线性度

±0.2%F.S.

分辨率

0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

传感器响应时间

<1s

预热时间

5 min（T95），30 分钟最佳

泄漏率

1*10-11Pa.m³/sec He

机械特性：

最大工作压力

3 MPa（30bar）

工作压差范围

0-1 MPa

工作温度范围

-20~65℃℃（环境和气体）

温度范围

0 ~ 98%无凝露

气路接头类型

快插、快拧、卡套、VCR（可选）

气体接触材质

氟橡胶、316不锈钢

密封材质

氟橡胶 FKM

防护等级

IP40

安装方式

水平安装方向校准

固定孔

M4 ↓ 5mm

重量

0.82kg

电气和通讯：

电气连接接口类型

DB-9 公头

模拟信号

0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

输入输出阻抗

输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<1KΩ

模拟数据更新频率

200Hz

数字信号

RTU （RS232， RS485），CAN

通信速率

9600（默认），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）

电源

15-40 VDC，<200 mA

显示更新频率

50Hz

模拟信号精度

±0.05%F.S.

特征：

标况

20℃ & 1 atm

气体选择

98种气体可选，具体参考说明书气体系数

软件

Aitoly分阶流量软件

尺寸：

满量程	高	款	深度	A	B	C	D	E	重量
2 sccm~50 slpm	125.00 mm	76.00 mm	32.00 mm	64.00 mm	17.80 mm	7.00 mm	6.00 mm	M4 ↓ 5 mm	≈0.82 kg
2 sccm~50 slpm	4.921 in	2.992 in	1.260 in	2.520 in	0.701 in	0.276 in	0.236 in	M4 ↓ 0.197 in	≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm	138 mm	82 mm	38 mm	62 mm	30 mm	10 mm	10 mm	M4 ↓ 8 mm	≈1 kg
100 sccm~500 slpm	5.43 in	3.22 in	1.496 in	2.440 in	1.181 in	0.157 in	0.393 in	M4 ↓ 0.31 in	≈2.21 lb