气体质量流量控制器

产品简介：

MFC330-05S 气体质量流量控制器结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

产品型号：MFC330-05S

更新时间：2025-01-09

厂商性质：生产厂家

访问量：333

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产品介绍

MFC330-05S 气体质量流量控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330-05S 气体质量流量控制器依然能够保持稳定的流量控制。

MFC330工作原理

产品特点：

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

工作压差范围大：0-1MPa

低压损可选

全金属比例阀可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

主要参数：

介质要求

洁净干燥气体

气体种类

98+气体可选

量程

0-2，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

测量范围

0.5%F.S.（1:200）

控制范围

1%-100% FS.（1:100）

准确度

标准：±1% F.S.

高精度

±0.5%

重复精度

±0.2%F.S.

线性度

±0.2%F.S.

控制响应时间

<3 秒

预热时间

5 min（T95），30 分钟最佳

阀门

常闭式

泄漏率

1*10-11Pa.m³/sec He

机械特性：

最大工作压力

3 MPa（30bar）

工作压差范围

0-1 MPa

工作温度范围

-20~65℃（环境和气体）

温度范围

0 ~ 98%无凝露

气路接头类型

卡套、VCR、快插、快拧（可选）

气体接触材质

氟橡胶、304/316不锈钢

密封材质

氟橡胶 FKM

防护等级

IP40

安装方式

水平安装方向校准

固定孔

M4 ↓ 5mm

重量

0.96kg

电气和通讯：

电气连接接口类型

DB-9 公头

模拟信号

0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

输入输出阻抗

输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<1KΩ

模拟数据更新频率

200Hz

数字信号

Modbus RTU （RS232， RS485）， CAN

通信速率

9600（默认），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（用户可修改）

电源

15-40 VDC，<200 mA

显示更新频率

50Hz

模拟信号精度

±0.05%F.S.

特征：

标况

20℃，1 atm

气体选择

可选，具体参考说明书气体系数

软件

Aitoly分阶流量软件

尺寸：

满量程	高	款	深度	A	B	C	D	E	重量
2 sccm~50 slpm	125.00 mm	76.00 mm	32.00 mm	64.00 mm	17.80 mm	7.00 mm	6.00 mm	M4 ↓ 5 mm	≈0.96 kg
2 sccm~50 slpm	4.921 in	2.992 in	1.260 in	2.520 in	0.701 in	0.276 in	0.236 in	M4 ↓ 0.197 in	≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm	138 mm	82 mm	38 mm	62 mm	30 mm	10 mm	10 mm	M4 ↓ 8 mm	≈1.3 kg
100 sccm~500 slpm	5.43 in	3.22	1.496	2.220	1.181	0.393	0.393 in	M4 ↓ 0.31 in	≈2.88 lb