热式质量流量计 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。 被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。

由流量传感器、分流器、通道、流量调节阀和控制电路等部件组成，结构如上图所示。气体通过质量流量控制器（简称MFC）时，大部分气体通过层流元件，成比例的部分气体通过流量传感器。 采用恒温差方案的热式传感器将流量信号转换为申信号，以此为基准测量当前通过MFC的气体流量大小.

MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。 被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，依然能够保持稳定的流量控制。

氮气质量流量控制器（MFC）是一种用于精确测量和控制气体质量流量的设备‌。 该设备的工作原理基于流体力学和传热原理，通过质量流量传感器测量气体流经管道时的压差和温度变化，进而计算出气体的质量流量，并通过控制阀门调节气体流量，使其保持在设定的范围内‌。

氢气流量控制器MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。 被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。

热式气体质量流量计MFC300 系列气体质量流量计/控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。