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江苏气体流量计
产品简介:

江苏气体流量计MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

产品型号:MFC300

更新时间:2025-06-12

厂商性质:生产厂家

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产品介绍
  江苏气体流量计MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
 
江苏气体流量计
产品特点
 
  超快响应:5ms 测量响应,300ms控制响应
 
  高重复性,宽量程比
 
  更小体积,安装方便
 
  无需预热,使用便捷
 
  分阶流量控制软件,灵活配置
 
  主要参数
 
  介质要求  洁净干燥无腐蚀性气体
 
  气体种类  Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
 
  测量和控制范围  0.2%-100%F.S. (1:500)
 
  准确度  ±0.5%F.S.
 
  重复精度  ±0.5%F.S.
 
  线性度  ±0.2%F.S.
 
  分辨率  0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可选)
 
  传感器响应时间  5ms
 
  控制响应时间  300ms
 
  预热时间  ≤1s
 
  阀门  常闭式
 
 

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