真空气体质量流量计是毛细管热式气体质量流量计，精度高0.5% F.S.支持EtherCat通讯

 介质要求 Applicable Media 洁净干燥气体 Clean, dry gases 

气体种类 Gas Type 90+ Available for 90+types of gas 

量程 Full cale (N2 equivalent) 0-2, 20, 50, 100, 200 sccm; 0- 20, 30, 50, 100, 200 slpm( MFM350 400slmp) 

测量范围 Measurement range 0.5% F.S. (1:200) 

控制范围 Control range 1% - 100% F.S. (1:100) （MFC） 

准确度 Accuracy ±0.35% F.S. (<35% FS.)，±1.0% S.P. （≥35% F.S.）或 0.5%F.S.

重复精度 Repeatability ±0.2% F.S. 

线性度 Linearity ±0.2% F.S. 

控制响应时间 Typical control response time <1 秒 

预热时间 Warm-up time 5 min (T95),30分钟最佳 30min for optimum accuracy 

阀门 Valve function 常闭式 Normally Closed 

泄漏率 Leak integrity 1*10 -10 Pa*m³/sec He 

分辨率 Resolution ratio 0.001sccm

 耐压 Maximum Pressure 3 MPa (30bar)（50slpm以上详询厂家）

工作压差范围 Operating differential pressure 0~1 MPa 

工作温度范围 Operating temperature range -20～65℃ (环境和气体 ambient and gas)

湿度范围 Relative humidity range 0~98%无凝露No - condensing 

气路接头类型 Process connections 卡套、快拧、VCR (Compression fitting, Push-in fitting, , VCR optional) 

气体接触材质 Material FKM、316 不锈钢 (FKM 316 Stainless steel) 

密封材质 Seals FKM，FFKM 

防护等级 Ingress protection (housing) IP40 

安装方式 Mounting 水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation 固定孔 Mounting holes M4 ↧ 5mm 重量 Weight 0.84 kg (MFM) / 0.98 kg (MFC)