微流量热式气体质量流量计是一款热式毛细管气体质量流量计，体积小，精度高，响应速度快。

公司自主研发的核心器件全自研全国产化的热式气体质量流量计（MFC330/MFC350 系列产 品）已经量产并通过市场验证。核心部件毛细管热式传感器、高精度电磁比例阀自主 研制、核心生产设备及治具检具亦自主研制。本项目专注于的层流差压式气体质量流 量控制器（MFC）的研发、国产化量产、销售与技术服务，聚焦半导体、光伏、显示面板、 真空镀膜、分析仪器、生物医药、精细化工等制造领域。针对国内 MFC 长期被海 外品牌垄断、供货周期长、价格高昂、售后滞后、卡脖子风险突出等行业痛点，团队依托 自主流体控制算法、自产高精度流量传感器及控制比例阀、低漂移温控补偿技术，打造高 精度、高稳定性、长寿命、高性价比的国产化 MFC 系列产品。

气体种类： 90+种气体可选 

测量范围： 0.5%F.S. – 1 00% F.S. (1:200) 

控制范围;： 1%F.S. – 1 00% F.S. (1:100) 

准确度： 0.5% F.S. 

工作压差： 0-1 MPa 

耐压： 3 MPa 

控制响应时间 <1 s 

阀门类型: 常闭阀 

预热时间： 5 min（T95) 

量程范围： 0-2 sccm…200slpm 

显示屏： 内置/外接显示屏可选 

标况: 20℃（可设置）， 1atm 

通讯方式： 0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN, EtherCat