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热式气体质量流量控制器
产品简介

热式气体质量流量控制器mfc350 可平替HORIBA流量计,精度高,响应式速度快

产品型号:MFC350
更新时间:2026-07-03
厂商性质:生产厂家
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公司自主研发的核心器件全自研全国产化的热式气体质量流量计(MFC330/MFC350 系列产 品)已经量产并通过市场验证。核心部件毛细管热式传感器、高精度电磁比例阀自主 研制、核心生产设备及治具检具亦自主研制。本项目专注于的层流差压式气体质量流 量控制器(MFC)的研发、国产化量产、销售与技术服务,聚焦半导体、光伏、显示面板、 真空镀膜、分析仪器、生物医药、精细化工等制造领域。针对国内MFC 长期被海 外品牌垄断、供货周期长、价格高昂、售后滞后、卡脖子风险突出等行业痛点,团队依托 自主流体控制算法、自产高精度流量传感器及控制比例阀、低漂移温控补偿技术,打造精度、高稳定性、长寿命、高性价比的国产化 MFC 系列产品。 项目产品可全面替代进口美国 Brooks、MKS、Alicat、日本 Horiba 等主流海外品牌,覆盖 微小流量、常规流量场景,兼容腐蚀性气体、惰性气体、剧毒、易燃易爆气体等多介质工 况。目前项目已完成技术打磨、正在进行性能测试、小批量试产,具备市场化落地条件。 本轮计划融资用于产品迭代研发、产线扩建、资质认证、市场拓展及核心团队 扩充,打破进口垄断、快速抢占国产替代市场红利,打造的精密气体流量测控仪 表品牌。

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