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产品简介
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600 系列层流差压式气体质量流量计/控制器,其结构包含层流差压式流量传感器、高精度比例阀和控制系统。内置压力和温度补偿系统,核心算法,动态调控高精度比例阀以自动控制气体流量,提供更加精准和稳定的气体流量测量和控制。
产品特点:. 精度:0.2 % F.S
控制范围:1%~100% F.S. 5ms测量响应,100ms控制响应
130+种气体适用,灵活切换、配气
同时测量标况流量和工况流量
通讯方式:模拟量、RS485, RS232, CANOPEN, DeviceNet, Profibus, EtherCat
流量范围: 最小值 0-1 sccm ; 最大值: 0-200 slpm



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