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产品简介
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MFC330系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出气压波动, MFC330依然能够保持稳定的流量控制。
产品特点:
精度:1 % F.S.
控制范围:1%~100% F.S.
工作压差范围:0-1 MPa
量程:2 sccm-200 slm
集成显示器可选
经济有效的解决方案
流量范围:
最小值 0-2 sccm ; 最大值: 0-200 slpm



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