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数显气体质量流量控制器
产品简介:

‌数显气体质量流量控制器气体流量控制器(Gas Flow Controller)‌是一种用于精确测量和控制气体流量的设备,能够直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表,因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活,功能强大,性能价格比高,是新一代流量仪表。

产品型号:MFC330

更新时间:2025-06-13

厂商性质:生产厂家

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产品介绍

我公司自主研发的 MFC330 气体质量流量控制器(以下简称 MFC330),

主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高 性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面,使气体流量控 制更加精准、稳定和简便,内置温度和压力传感器,采集气路温度、压力值 外,进一步对气体流量控制进行温压补偿;支持多种通讯协议,可以方便高 效的与电脑、PLC、工业触摸屏、单片机等进行通讯;具有多气体测量,高  精度,高稳定性,极低零漂等特性。

MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工

业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括:  电子工艺设备,  如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻

蚀、溅射、离子注入;  以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系 统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

数显气体质量流量控制器

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