江苏气体质量流量计的 MFM/MFC330 系列气体质量流量计/控制器，产品基于毛细管柱热式原理，主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。MFM/MFC330 系列气体质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、稳定性好、工作压力范围宽、极低零漂等特点。模拟量和数字量等多种通讯方式可选，内置显示屏可选，操作配置灵活。

江苏气体质量流量计的MFM/MFC330 系列气体质量流量计/控制器，产品基于毛细管柱热式原理，主 要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。 MFM/MFC330 系列气体质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、稳定性好、工作压力范围 宽、极低零漂等特点。模拟量和数字量等多种通讯方式可选，内置显示屏可选，操作配置灵活。 MFM/MFC330广泛应用于半导体制造、真空镀膜、特种材料学科、石油化工、医药、环保等行业的气流 测量和控制。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、 离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪、光谱仪、 质谱仪及其它分析仪器。

标准状况的定义 气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，由于标准状态下气体的密度是一个常数， 该密度乘以标准状态下的体积就是质量数。所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。 质量流量单位为： SCCM： 标准毫升/分钟；SLPM： 标准升/分钟 标准状况定义为： 温度 20℃（293.15K）；气压 1 atm（101.325Kpa，760mmHg） 单位 SCCM 等同于“mL/min, 20℃, 1atm)，单位 SLPM 等同于“L/min, 20℃, 1atm) 气体质量流量计/流量控制器出厂通常用 N2 氮气标定，亦可按照用户要求的气体来进行特标。 MFC/MFM 的标准安装方式为水平安装，其他安装方式请联系厂家获取技术支持。

4 主要技术指标 MFC33