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安徽气体质量流量控制器
产品简介:

安徽气体质量流量控制器 MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

产品型号:MFC300

更新时间:2025-03-27

厂商性质:生产厂家

访 问 量 :128

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产品介绍

安徽气体质量流量控制器 MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

安徽气体质量流量控制器

    产品特点

超快响应:5ms 测量响应,300ms控制响应

高重复性,宽量程比

更小体积,安装方便

无需预热,使用便捷

分阶流量控制软件,灵活配置

技术参数
主要参数
  • 介质要求
    洁净干燥无腐蚀性气体
  • 气体种类
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 测量和控制范围
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 准确度
    ±0.5%F.S.
  • 重复精度
    ±0.5%F.S.
  • 线性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可选)
  • 传感器响应时间
    5ms
  • 控制响应时间
    300ms
  • 预热时间
    ≤1s
  • 阀门
    常闭式


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