江苏热式气体流量计 MFM毛细管热质量流量计,直接测量较低流量范围内的清洁气体和混合气体的质量流量。

MFM毛细管热质量流量计,直接测量较低流量范围内的清洁气体和混合气体的质量流量。 

产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

低压损可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

     主要参数

介质要求  洁净干燥气体

气体种类  98+气体可选

量程  10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

测量范围  0.5%-100% F.S.

准确度  ±0.5% F.S.

重复精度  ±0.2%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

传感器响应时间  <1s

预热时间 5 min（T95），30 分钟最佳

  机械特性

最大工作压力  3 MPa（30bar）

工作压差范围 0-1 MPa

工作温度范围  -20~65℃（环境和气体）

湿度范围  0 ~ 98%无凝露

气路接头类型  快插、快拧、卡套、VCR（可选）

气体接触材质  氟橡胶、316不锈钢

密封材质  氟橡胶 FKM

防护等级   IP40

安装方式  水平安装方向校准

固定孔 M4 ↧ 5mm

重量 0.82kg