数显气体质量流量计 MFM毛细管热质量流量计,直接测量较低流量范围内的清洁气体和混合气体的质量流量。

数显气体质量流量计 MFM毛细管热质量流量计,直接测量较低流量范围内的清洁气体和混合气体的质量流量。

  产品特点

精准质量流量测量/控制

快速响应、高重复性

不受温度和压力的影响

低压损可选

集成显示器可选

经济有效的解决方案

      主要参数

      介质要求

    洁净干燥气体

气体种类  98+气体可选

量程   10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

测量范围   0.5%-100% F.S.

准确度  ±0.5% F.S.

重复精度  ±0.2%F.S.

线性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

传感器响应时间   <1s

预热时间  5 min（T95），30 分钟最佳

     机械特性

最大工作压力   3 MPa（30bar）

工作压差范围   0-1 MPa

工作温度范围  -20~65℃（环境和气体）

温度范围   0 ~ 98%无凝露

气路接头类型  快插、快拧、卡套、VCR（可选）

气体接触材质  氟橡胶、316不锈钢

密封材质  氟橡胶 FKM

防护等级  IP40

安装方式  水平安装方向校准

固定孔   M4 ↧ 5mm

重量   0.82kg

电气和通讯

电气连接接口类型   DB-9 公头

模拟信号   0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

输入输出阻抗

输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<1KΩ

模拟数据更新频率  200Hz

数字信号  RTU （RS232， RS485），CAN

通信速率  9600（默认），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）

电源  15-40 VDC，<200 mA

显示更新频率  50Hz

模拟信号精度  ±0.05%F.S.