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江苏气体质量流量控制器-Alicat平替
产品简介:

江苏气体质量流量控制器-Alicat平替MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。

产品型号:MFC330

更新时间:2025-06-12

厂商性质:生产厂家

访 问 量 :222

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产品介绍
  江苏气体质量流量控制器-Alicat平替MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
 
  被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。
 
江苏气体质量流量控制器-Alicat平替
MFC330工作原理
 
  产品特点
 
  精准质量流量测量/控制
 
  快速响应、高重复性
 
  不受温度和压力的影响
 
  工作压差范围大:0-1MPa
 
  低压损可选
 
  全金属比例阀可选
 
  集成显示器可选
 
  经济有效的解决方案
 
  参数
 
  介质要求  洁净干燥气体
 
  气体种类  98+气体可选
 
  量程  0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
 
  0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
 
  测量范围  0.5%F.S.(1:200)
 
  控制范围  1%-100% FS.(1:100)
 
  准确度  ±1% F.S.
 
  重复精度  ±0.2%F.S.
 
  线性度  ±0.2%F.S.
 
  控制响应时间  <3 秒
 
  预热时间  5 min(T95),30 分钟最佳
 
  阀门  常闭式
 
 

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