由流量传感器、分流器、通道、流量调节阀和控制电路等部件组成，结构如上图所示。气体通过质量流量控制器（简称MFC）时，大部分气体通过层流元件，成比例的部分气体通过流量传感器。 采用恒温差方案的热式传感器将流量信号转换为申信号，以此为基准测量当前通过MFC的气体流量大小.

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