气体质量流量控制器

产品简介：

MFC300-03D 气体质量流量控制器采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

产品型号：MFC300-03D

更新时间：2025-01-09

厂商性质：生产厂家

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产品介绍

MFC300-03D 气体质量流量控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

MFC300-03D 气体质量流量控制器工作原理

产品特点

超快响应：5ms 测量响应，300ms控制响应

高重复性，宽量程比

更小体积，安装方便

无需预热，使用便捷

分阶流量控制软件，灵活配置

主要参数

介质要求
洁净干燥无腐蚀性气体
气体种类
Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
量程
0-5，10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，3，4，5 slpm
测量和控制范围
0.2%-100%F.S. （1:500）
准确度
±0.5%F.S.
重复精度
±0.5%F.S.
线性度
±0.2%F.S.
分辨率
0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可选）
传感器响应时间
5ms
控制响应时间
300ms
预热时间
≤1s
阀门
常闭式
泄漏率
1*10-11Pa.m³/sec He

机械特性

最大工作压力
1.1 MPa（11bar）
工作压差范围
0-1 MPa
工作温度范围
0-65℃（环境和气体）
温度范围
0 - 98%无凝露
气路接头类型
快插、快拧、卡套、VCR（可选）
气体接触材质
氟橡胶、黄铜、300-系列不锈钢、硅
密封材质
氟橡胶 FKM
防护等级
IP40
安装方式
任意方向安装
固定孔
M4 ↓ 5mm
重量
0.38kg

电气和通讯

电气连接接口类型
DB-9 male
输入输出阻抗
输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<600Ω
数字信号
Modbus RTU（RS232，RS485），CAN
量程
0-2，10，20，30，100，300，500sccm
0-1，2，5，10，20，30slpm
通信速率
9600（默认），14400，19200，38400 bps（用户可修改）
电源
15-40 VDC，100 mA

特征

标况
20℃，1 atm
气体选择
可选，具体参考说明书气体系数
软件
Aitoly分阶流量软件

尺寸

满量程	高	款	深度	A	B	C	D	E	重量
5 sccm~5 slpm	66.20 mm	51.00 mm	39.00 mm	43.70 mm	27.40 mm	4.30 mm	5.80 mm	M4 ↓ 5 mm	≈0.38 kg
5 sccm~5 slpm	2.606 in	2.008 in	1.535 in	1.720 in	1.079 in	0.169 in	0.228 in	M4 ↓ 0.197 in	≈0.84 lb

产品选型

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MFC300-03D 气体质量流量控制器采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

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