MFC330 热式气体质量流量计，微小气体流量控制器
MFM / MFC330 系列气体质量流量计/控制器, 其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330依然能够保持稳定的流量控制。

气体种类 Gas type

98+气体可选 Available for 98+ types of gas

量程 Full Scale（N2 equivalent）

0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm

测量范围measurement range

0.5%F.S. (1:200)

控制范围 Control range

1% - 1  00% F.S. (1:100)

准确度 Accuracy

标准 Standard：±1% F.S.   高精度High Performance：±0.5%

重复精度Repeatability

±0.2% F.S.

线性度Linearity

±0.2% F.S.

控制响应时间 Settling time (in control)

<3秒  

预热时间 Warm-up time

5 min (T95), 30分钟  30min for optimum accuracy

阀门Valve function

常闭式 Normally Closed

泄露率 Leak integrity

1*10-8 Pa·m3/sec He

工作压力 Maximum pressure

3 MPa (30bar）

工作压差范围 Operating differential pressure

0 ~ 1 MPa

工作温度范围Operating temperature range

-20 ~ 65℃ (环境和气体 ambient and gas)

湿度范围 Relative humidity range

0 ~ 98% 无凝露 No-condensing

气路接头类型Process connections

卡套,、VCR、快插、快拧 (可选)

(Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional)

气体接触材质Material

氟橡胶、304/316不锈钢 (FKM, 300-series Stainless steel)

密封材质Seals

氟橡胶 FKM

防护等级 Ingress protection (housing)

IP40

安装方式 Mounting

水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation

固定孔 Mounting holes

M4   5mm

重量 Weight

0.96 kg