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专注于微小气体流量测量与控制
服务热线：4008919886
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产品型号：MFM330
更新时间：2025-01-10
厂商性质：生产厂家
访 问 量 ：195
18168878188
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| MFM气体流量计产品特性： | ||
| ◆无可移动部件 | |||
| ◆支持多种通讯协议 | |||
| ◆容易安装及维护 | |||
| ◆高精度、高稳定性、非常低的零漂 | |||
| ◆可测多种气体 | |||
| ◆一体液晶显示和按键操作 | |||
| ◆内置温度和压力传感器 | |||
| ◆同时显示气体瞬时流量和累积流量 | |||
| 应用领域： | |||
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MFM气体流量计技术参数：
| ——分析仪器 | ——干刻（RIE/DRIE） | |
| 流量规格： | 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM | ——生物技术
| ——气相色谱分析 |
| ——激光焊机
| ——过程自动化 | ||
| 准确度： | ±0.5%F.S. | ——真空镀膜
| ——燃料电池 |
| 重复精度： | ±0.2%F.S. |
产品尺寸：
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| 使用温度： | -20~65℃ | ||
| 使用湿度： | 0~98%（⽆凝露） | ||
| Max耐压： | 3MPa | ||
| 响应时间： | <1s | ||
| 供电电压： | 15~40VDC | ||
| 功率： | <1.2W | ||
| 通讯方式： | RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA | ||
| 气路部件材质： | SUS304、SUS316L | ||
| 密封件材质： | 氟橡胶 | ||
| 气路接头： | 快拧、快插、卡套、VCR | ||
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外接显示器尺寸：
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电气连接：DB9
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产品造型：
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