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热式气体流量计 MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。 被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。
皂膜气体流量标准装置可根据不同的测量量程选择适合的测量通道,大大提高气体流量的测量范围及测量精度,测量通道切换简便。
MFM330 气体质量流量计结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
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