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热式质量流量计 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。 被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。
由流量传感器、分流器、通道、流量调节阀和控制电路等部件组成,结构如上图所示。气体通过质量流量控制器(简称MFC)时,大部分气体通过层流元件,成比例的部分气体通过流量传感器。 采用恒温差方案的热式传感器将流量信号转换为申信号,以此为基准测量当前通过MFC的气体流量大小.
MFC330 系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。 被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出口气压波动,依然能够保持稳定的流量控制。
气体流量控制器MFC300 系列气体质量流量计/控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。
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