国产气体流量计自主研发MFC MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

高精度气体质量流量控制器MFC300 系列气体质量流量计/控制器，该系列采用 MEMS 流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

国产替代热式气体质量流量计MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

国产替代热式气体质量流量计我公司自主研发的 MFC330 气体质量流量控制器（以下简称 MFC330），主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。

国产替代自主研发微小气体流量计MFC330 系列气体质量流量计/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。

自主研发气体质量流量计流量传感器采用气体流过外热源加热的毛细管时产生的温度场变化 来测量气体质量流量，通过电桥将温度场的变化转化为电信号并经过电 路放大、滤波处理，处理后的信号采集进处理器芯片，再通过气体流量 外标法和温压补偿得到准确的真实气体流量值。