精准掌控“气体脉搏”：爱拓利流量计亮相碳材料大会，赋能新能源制造

第九届国际碳材料大会，上海新国际博览中心N1、N2，2个展馆人头攒动。在精密制造和新能源材料展区，一台台看似不起眼的灰色仪器吸引了许多专业观众的目光——它们是气体质量流量计。

碳材料产业链的精密制造，从金刚石薄膜沉积到硅碳负极材料制备，精确的气体流量控制直接影响着最终产品的性能和质量。

一 开幕盛况

第九届国际碳材料大会暨产业展览会于2025年12月9日在上海新国际博览中心拉开帷幕，大会以“材料创新驱动产业变革"为主题，预计将吸引超过50000名专业观众。

由DT新材料和中国超硬材料网联合主办。

展馆分为N1半导体碳材料馆、N2能源与装备碳材料馆，聚焦碳材料从基础研究到产业化应用的全链条展示。

现场近400家展商中，不乏像爱拓利电子这样专注于为精密制造提供关键测量与控制技术的企业。

二 碳材料制造的“气体脉搏"

在碳材料产业链中，无论是CVD金刚石生长还是硅碳负极材料的制备，气体流量控制都是核心工艺环节。

化学气相沉积（CVD）是制造高品质金刚石薄膜的关键技术，而其中甲烷等气源流量的精确控制直接影响金刚石膜的结晶质量和纯度。

同样在新能源领域，硅碳负极材料制备过程中，硅烷、乙炔等工艺气体的精确配比与动态控制也至关重要。

本届展会上，气体流量智能控制系统成为多个展商重点展示的技术方向之一。这类系统通过精准控制气体流量，保障碳制品工艺过程的一致性和稳定性。

三 爱拓利的技术实力

在气体流量控制领域，爱拓利展示了其从MFC300、MFC330，MFC350到MFC600等多个系列的气体质量流量计产品。

以专为微小流量场景设计的MFC300系列为例，它采用MEMS流量传感器，并自带温度和压力补偿功能。其测量准确度可达±0.5%F.S.，而传感器响应时间仅为5毫秒。

爱拓利流量计的核心优势在于其高精度与高稳定性。以MFC600系列为例，准确度可达±0.2%F.S.，线性度为±0.1%F.S.，重复精度更是达到±0.05%F.S.。

这种高精度特性在动态气体配气过程中至关重要，可以确保各组分流量的精确控制，从而保证最终混合气体浓度的准确性。

四 现场焦点应用

在半导体材料展区，爱拓利展示了其气体流量计在扩散工艺中的应用案例。在半导体和光伏制造业中，扩散炉是核心设备之一，用于实现精确的掺杂和薄膜生长。

爱拓利气体质量流量计和控制器通过对工艺气体的精准测量与控制，直接决定了扩散工艺的成败与产品的最终性能。

例如，MFC330系列可提供低至0-5 SCCM的微小流量规格，确保掺杂剂浓度和分布满足严苛的工艺要求。

在新能源材料制备区域，爱拓利展示了针对硅碳负极材料制备的解决方案。硅碳负极制备中需要处理硅烷(SiH₄)、乙炔(C₂H₂)等高风险工艺气体，这对气体流量计提出了特殊要求。

五 行业趋势与未来展望

气体流量控制在碳材料产业链的重要性日益凸显。随着工业过程对气体混合物精度要求的不断提高，气体流量计技术也在持续进步。

未来趋势显示，智能流量计将能够实现远程监控、预测性维护和自适应控制，进一步提升动态气体配气仪的智能化水平。

爱拓利流量计系列产品提供多种通信接口，包括模拟信号、RS232、RS485、RS422和CAN总线，便于与主控系统集成，实现远程监控和自动化控制，这些功能契合了未来智能化发展趋势。

碳材料大会同期还将举办2025金刚石年会、碳纤维装备制造大会、新能源碳材料与电池大会等应用端会议，深入探讨碳材料在半导体、新能源、装备等领域的创新发展。