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微小气体流量计的核心原理与技术分类

更新时间：2025-08-15点击次数：92
　　微小气体流量计核心原理与技术分类：
 
　　微小气体流量计通过精准测量气体流动特性实现流量控制，常见技术原理及特点如下：
 
　　热式质量流量计
 
　　原理：基于热传导效应，通过测量气体流过加热元件时带走的热量计算流量。
 
　　特点：
 
　　结构简单，安装便捷，对小流量敏感(可测低至几毫升/分钟)。
 
　　无需温度压力补偿，但测量精度受气体成分和温度影响。
 
　　典型应用：实验室气体分析、半导体制造中的小流量气体测量。
 
　　容积式流量计
 
　　原理：通过测量气体充满和排出固定容积的次数计算流量。
 
　　特点：
 
　　测量精度高，不受气体密度和粘度影响，可测高粘度气体。
 
　　结构复杂，体积大，对气体清洁度要求高。
 
　　典型应用：高精度、高粘度微量气体测量(如特殊化工气体计量)。
 
　　红外气泡法流量计
 
　　原理：利用气泡体积与红外检测计算流量。
 
　　特点：
 
　　适用于连续或非连续气流，具备自研温度/压力补偿功能。
 
　　多通道组合模式，软件同步记录数据，采样时间最快每秒1次。
 
　　典型应用：催化产氢测试、光催化分解水产氢等场景。
 
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