气体流量计的种类

气体质量计（Gas Mass Flow Meter）是一种用于测量气体质量流量的仪器，广泛应用于工业过程控制、实验室研究、环境监测等领域。以下是关于气体质量计的详细介绍：

1. 气体质量计的类型

根据测量原理，常见的气体质量计包括：

热式质量流量计（Thermal Mass Flow Meter）

原理：基于气体流过热传感器时的冷却效应测量流量。

特点：无需温压补偿，直接测量质量流量，适合洁净气体（如空气、氮气、氧气等）。

应用：半导体、生物反应器、燃烧控制等。

科里奥利质量流量计（Coriolis Mass Flow Meter）

原理：利用科里奥利力效应，通过振动管中气体流动导致的相位差测量流量。

特点：可同时测量质量流量、密度和温度，精度高，但成本较高。

应用：化工、石油、天然气行业的高精度测量。

差压式流量计（DP Flow Meter）

原理：通过节流装置（如孔板、文丘里管）产生的压差间接计算流量。

特点：需配合温压补偿才能得到质量流量，适合高压或高温气体。

应用：蒸汽、压缩空气流量监测。

超声波流量计（Ultrasonic Flow Meter）

原理：利用超声波在气体中顺流和逆流的传播时间差计算流速。

特点：非接触式测量，适用于大管径或腐蚀性气体。

2. 关键参数

选择气体质量计时需考虑以下参数：

测量范围（量程）：确保覆盖实际流量需求。

精度：通常为±1%~±2.5%，高精度型号可达±0.5%。

气体兼容性：仪表材质需适应气体特性（如腐蚀性、湿度）。

输出信号：4-20mA、RS485、脉冲输出等。

压力与温度范围：需匹配工况条件。

3. 应用场景

工业过程控制：如半导体制造中的工艺气体流量监控。

环保监测：烟气排放量测量（SO₂、NOₓ等）。

实验室：校准气体分配系统或反应气体流量控制。

能源管理：天然气、压缩空气的能耗计量。

4. 选型建议

明确气体类型：腐蚀性气体需选用耐腐蚀材质（如哈氏合金）。

确定流量范围：避免过大量程导致精度下降。

环境条件：高温/高压环境需选择专用型号。

安装要求：直管段长度、管道方向（热式流量计对安装方向敏感）。