质量流量控制器的介绍

一，质量流量控制器简介

质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 在现代工业过程中扮演着至关重要的角色。它凭借其高精度、稳定性以及在多个行业中的广泛应用。与传统的体积流量控制器不同，MFC直接以气体的质量为控制对象，这在温度波动大或气体种类繁多的环境下显得尤为重要。由于气体的体积会随温度和压力的变化而变化，而质量则保持恒定，因此MFC能够提供更加稳定、准确的流量控制，从而确保生产过程的稳定性和产品质量的一致性。MFC的主要功能包括精确流量控制、流量监测与显示以及气体混合控制。在精确流量控制方面，MFC可根据工艺需求精确设定和调节气体或液体的质量流量值，通过内部的控制机构和算法将实际流量稳定在设定值，确保流量的准确性和稳定性。此外，MFC在小流量控制方面也表现出色，能精确控制如几毫升每分钟甚至更小的流量，满足生物医药、微电子等对微量流体精确控制的需求。同时，MFC还具备实时流量监测与显示功能。它内置流量传感器实时监测流体的质量流量，并将流量数据转换为电信号供系统实时获取。此外，MFC通常配备显示屏直观显示实时流量值，方便操作人员查看和记录，也可通过通信接口将数据传输到上位机或控制系统实现远程监测和管理。此外，MFC还广泛应用于气体混合控制领域。它能够精确控制多种气体的混合比例和质量流量，满足不同工艺需求。在半导体制造、化学工程、生物医药等多个行业中，MFC都发挥着举足轻重的作用。气体质量流量单位一般以sccm（Standard CubicCentimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为： 气压—101325Pa（760mm Hg）; 温度—0℃ （273。15K）。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。