气体质量流量控制器MFC的工作原理

一、基本结构

1. 流量传感器

• MFC 内部通常采用热式质量流量传感器。这种传感器基于热传导原理工作。它有两个温度传感器（RTD，电阻温度探测器）和一个加热元件。

• 加热元件位于两个温度传感器中间。当气体流过时，带走热量，根据热量传递的原理，气体流速不同，带走热量的速度也不同，进而导致两个温度传感器之间产生温度差。

• 通过测量这个温度差，可以计算出气体的质量流量。

2. 流量控制阀

• MFC 配有一个比例控制阀，通常是一个针阀或球阀。这个阀门可以精确地控制气体的通过量。

• 阀门的开度由一个电磁驱动装置控制，通过改变阀门的开度来调节气体流量。

二、工作过程

1. 测量流量

• 当气体进入 MFC 时，首先经过流量传感器。传感器测量气体的流量，并将流量信号转换为电信号（如电压或电流信号）。

• 这个电信号被发送到 MFC 的控制电路。

2. 流量控制

• MFC 的控制电路将接收到的流量信号与设定值进行比较。如果测量流量与设定流量不一致，控制电路会向流量控制阀发送信号。

• 流量控制阀根据控制信号调整阀门开度。如果测量流量小于设定流量，阀门会开大；如果测量流量大于设定流量，阀门会关小。

• 这种反馈控制机制不断循环，确保实际气体流量与设定流量保持一致，从而实现精确的流量控制。

三、应用场景